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线性压电位移台EPSK系列
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项目描述

线性压电位移台，使用压电陶瓷作为活动促动元件，能够在数百毫米领域内实现亚纳米级此外最幼步长，从而解决了传统纳米台行程幼而微米电动台精度不高的问题，在科研市场、半导体市场、先进造作业生物医疗行业、光学、通讯等行业有宽泛利用。

 

OMTOOLS提供的压电驱动位移台拥有活动无需光滑、真空兼容，拥有步进和扫描双工作模式，在宏观行程领域内达到亚纳米分辨率的定位。

 

  • 结构紧凑、高刚性。
  • 零间隙，高精度柔性铰链导向系统。
  • 压电陶瓷推进器拥有超长使用寿命。
  • 带位移传感器，提供地位和速度关环节造。
关键词:
压电驱动位移台
技术规格

产品型号

EPSK3020A

EPSK3030A

EPSK3040A

EPSK4025A

表形尺寸

（长宽高）

33.2x30.0x11.5（mm）

43.2x30.0x11.5（mm）

53.2x30.0x11.5（mm）

43.2x40.0x15.0（mm）

台面平面度

10（um）

10（um）

10（um）

10（um）

总质量

33（g）

45（g）

60（g）

72（g）

机身段质

铝合金

铝合金

铝合金

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

PZT压电陶瓷

PZT压电陶瓷

PZT压电陶瓷

导线

屏蔽线、铜线

屏蔽线、铜线

屏蔽线、铜线

屏蔽线、铜线

活动领域

±10mm

±15mm

±20mm

±12.5mm

最大速度

2~3mm/s

2~3mm/s

2~3mm/s

2~3mm/s

细调步进

1nm

1nm

1nm

1nm

细调领域

2500nm

2500nm

2500nm

2500nm

沉复定位精度

±150nm（典型值）高精度±50nm

±150nm（典型值）高精度±50nm

±150nm（典型值）高精度±50nm

±150nm（典型值）高精度±50nm

传感器分辨率

1、4、20、100、500、1000nm

1、4、20、100、500、1000nm

1、4、20、100、500、1000nm

1、4、20、100、500、1000nm

地位传感器

光栅

光栅

光栅

光栅

装置方向

水平装置

水平装置

水平装置

水平装置

垂直活动方向负载

20N

20N

20N

20N

沿活动方向负载

2N

2N

2N

2N

操作温度

-20~80℃

-20~80℃

-20~80℃

-20~80℃

操作湿度

相对湿度40~60%

相对湿度40~60%

相对湿度40~60%

相对湿度40~60%

真空兼容性

提供真空版本

提供真空版本

提供真空版本

提供真空版本

节造类型

开环/关环

开环/关环

开环/关环

开环/关环

最大驱动电压

80V

80V

80V

80V

装置要求

装置面平面度0.01mm

装置面平面度0.01mm

装置面平面度0.01mm

装置面平面度0.01mm
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