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纳米压电转台OMZF系列
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项目描述

纳米压电转台，使用压电陶瓷作为活动促动元件，能够在数百毫米领域内实现亚纳米级此外最幼步长，从而解决了传统纳米台行程幼而微米电动台精度不高的问题，在科研市场、半导体市场、先进造作业生物医疗行业、光学、通讯等行业有宽泛利用。
 

OMTOOLS提供的压电驱动旋转台拥有活动无需光滑，真空兼容，拥有步进和扫描双工作模式，在宏观行程领域内达到亚纳米分辨率的定位。

 

  • 结构紧凑、高刚性。
  • 零间隙，高精度柔性铰链导向系统。
  • 压电陶瓷推进器拥有超长使用寿命。
  • 带位移传感器，提供地位和速度关环节造。
关键词:
压电旋转台
技术规格

产品型号

OMZF33A

OMZF5950A

OMZF8382A

表形尺寸（长宽高）

33.0x33.0x16.0（mm）

59.0x59.0x25.8（mm）

83.0x83.0x28.5（mm）

台面平面度

10（um）

10（um）

10（um）

总质量

70（g）

230（g）

540（g）

机身段质

不锈钢

铝合金

铝合金

驱动

PZT压电陶瓷

PZT压电陶瓷

PZT压电陶瓷

导线

屏蔽线、铜线

屏蔽线、铜线

屏蔽线、铜线

活动领域

360°

360°

360°

回转直径

33mm

55mm

82mm

活动步进

1m°

1m°

1m°

最幼速度

0.25°/s

0.25°/s

0.25°/s

最大速度

10°/s

8°/s

6°/s

细调步进

0.05m°

0.05m°

0.05m°

细调领域

7m°

7m°

7m°

沉复定位精度

6m°

6m°

6m°

传感器分辨率

0.05、0.1、0.25、0.5m°

0.05、0.1、0.25、0.5m°

0.05、0.1、0.25、0.5m°

地位传感器

光栅

光栅

光栅

装置方向

水平装置

水平装置

水平装置

垂直活动方向负载

20N

20N

20N

动弹扭矩

36N*mm

72N*mm

90N*mm

操作温度

-20~80℃

-20~80℃

-20~80℃

操作湿度

相对湿度40~60%

相对湿度40~60%

相对湿度40~60%

真空兼容性

提供真空版本

提供真空版本

提供真空版本

节造类型

开环/关环

开环/关环

开环/关环

最大驱动电压

80V

80V

80V

装置要求

装置面平面度0.01mm

装置面平面度0.01mm

装置面平面度0.01mm
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