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压电倾斜台OMZK20A
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产品编号
1403
产品型号:
数量
-
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项目描述
技术规格
客户案例
项目描述
压电倾斜台，使用压电陶瓷作为活动促动元件，能够在数百毫米领域内实现亚纳米级此外最幼步长，从而解决了传统纳米台行程幼而微米电动台精度不高的问题，在科研市场、半导体市场、先进造作业生物医疗行业、光学、通讯等行业有宽泛利用。
OMTOOLS提供的压电驱动倾斜台拥有活动无需光滑，真空兼容，拥有步进和扫描双工作模式，在宏观行程领域内达到亚纳米分辨率的定位。
- 结构紧凑、高刚性。
- 零间隙，高精度柔性铰链导向系统。
- 压电陶瓷推进器拥有超长使用寿命。
- 带位移传感器，提供地位和速度关环节造。
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电动角位台OMPS系列
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